METAPOR® bietet aufgrund seiner einfachen Bearbeitungseigenschaften neue Möglichkeiten.
Eine konstante Dekompression innerhalb des Materials ermöglicht eine starke Haltekraft, auch wenn die Klemmfläche „nur“ teilweise mit dem Werkstück bedeckt ist.
Mit Spannelementen aus METAPOR® können Werkstücke präzise, gleichmäßig und ohne Deformationen fixiert werden.
Hohe Anforderungen an eine feine Oberflächenrauheit und Ebenheit der Oberfläche können mit Spannelementen aus METAPOR® problemlos erfüllt werden.
Aufgrund der mikroporösen Struktur (keine Rillen und Bohrlöcher) weisen selbst empfindlichste Teile keine Deformationen auf.
Statische Haftung der Werkstücke können durch ein Umschalten von Vakuum zu Druckluft beseitigt werden, es entsteht ein gleichmäßiges Luftkissen welches die Werkstücke von der Spannplatte entfernt.
Vorteile
- Gleichmäßiges Vakuum und homogener Luftstrom auf der gesamten Oberfläche.
- Verformungsfreie Fixierung durch die mikroporöse Oberfläche (hohe Ebenheit und Parallelität).
- Sehr dünne und empfindliche Folien, Elektronikbauteile und weitere Werkstücke werden ohne Beschädigung festgeklemmt (Wenn gebohrte Aluminiumplatten verwendet werden, können Unebenheiten und Beschädigungen auftreten).
- Bereiche, die keine Luftdurchlässigkeit haben sollen, können leicht abgedeckt werden.
- Da keine Bohrlöcher benötigt werden, sind wirtschaftlich und technisch interessante Konstruktionen möglich.
METAPOR®-Produkte für Vakuumspannanwendungen
METAPOR ® BF100 AL wird oft für Vakuumspannvorrichtungen zur Fixierung empfindlicher Materialien wie sehr dünner Filme/Folien (ca. 0,01 mm) oder zum Gravieren flacher Objekte verwendet. Es ermöglicht gleichmäßige Klemmkräfte auch bei teilweiser Abdeckung der Oberfläche.
METAPOR ® CE 100 WHITE ist ein extrem feines, poröses Material mit einer weißen Oberfläche. Dieses Produkt hat sich bei der Herstellung, Bearbeitung und dem Handling von Siliziumwafern als äußerst nützlich erwiesen, dies auch aufgrund seiner großen Oberflächenhärte und der Möglichkeit, dieses Material sehr präzise bearbeiten zu können. Ebenheiten der Vakuumspannfläche von weniger als 5 Mikrometern sind möglich. Es hat sich für den Einsatz in Reinräumen bestens bewährt. CE 100 WHITE ermöglicht gleichmäßige Klemmkräfte auch bei teilweiser Abdeckung der Oberfläche.
Vakuumspannvorrichtungen aus METAPOR ® MC 100 AL werden zum Spannen von komplexen 3D-Formen mit einer vollständigen Oberflächenabdeckung verwendet. Dieses Produkt wird sehr oft für etwas dickere Folien, Leder, Alcantara, Stoff und weiteren Produkten, welche eine sehr hohe Spannkraft benötigen verwendet.
METAPOR ® MA100 BLACK ist ein einzigartiges mikroporöses Produkt für Anwendungen, bei denen eine vollständig dunkle Oberfläche benötigt wird und keine Reflexionen zulässig sind. Dieses poröse Material bleibt auch nach dem Fräsen komplett schwarz.
Es kann z.B. als Vakuumspannplatte für 3D- und optische Messgeräte oder auch zur Qualitätsprüfung von transparenten RFID-Folien eingesetzt werden. Wie bei unseren anderen Produkten für das Vakuumspannen ist es möglich, Werkstücke mit sehr hohen Anforderungen an die Ebenheit, ohne Deformationen präzise zu fixieren. Das MA 100 BLACK ermöglicht gleichmäßige Klemmkräfte auch bei teilweiser Abdeckung der Oberfläche.
- Flachspannen: Arbeitstische, Folien fixieren, Spannmittel für die Druckindustrie, Messtische, Gravuranwendungen und Klemmeinsätze im Formenbau.
- Profil- / Formspannen: Vakuumunterstützte Formengreifer für komplexe Werkzeuge, Trimmen von thermogeformten Teilen. Ultraschallschneiden von «Slush-skins», z.B. für Instrumententafeln in der Automobilindustrie
- Kombinationen: Kombinierte Förder- und Haltevorrichtungen für den Anlagebau
Spannvorrichtungen für die Halbleiterindustrie aus porösem Material (METAPOR® Nichtmetall-Verbundwerkstoffe) bieten die Vorteile, dass sie leicht zu bearbeiten sind, eine glatte Oberfläche haben (weniger Reibung), eine gleichmäßige Luftverteilung haben und zu einem vernünftigen Preis erhältlich sind.
Das Material ist ideal, weil es mehr oder weniger selbstreinigend und daher sehr langlebig ist. Bei Verwendung von gereinigter Druckluft ist dieses poröse Material für Reinraumbedingungen bestens geeignet.
METAPOR® CE 100 WHITE Vakuumspannplatten (Vakuum Chucks) werden in der Halbleiterindustrie häufig für die Wafer Bearbeitung, IC-Montage, Chip- und das „Wire Bonding“ eingesetzt.
Eine mikroporöse Vakuumspannplatte aus METAPOR® CE 100 WHITE ist ein hervorragendes Betriebsmittel zum Spannen und Transportieren in den verschiedenen Herstellungsprozessen von Wafern und wird bei Prozessen wie Ausdünnen, Schneiden, Schleifen, Reinigen und Transportieren verwendet.
METAPOR® CE 100 WHITE kann für die Herstellung neuer und für die Aufarbeitung (Renovierung / Instandstellung) von porösen Keramikspannplatten von verschiedenen Anbietern verwendet werden.
8” Vakuumspannplatte mit Auswerfer Stiften
Qualitätskontrolle
Spannvorrichtungen aus METAPOR® für die Qualitätssicherungsbranche, gewährleisten eine sehr präzise und genaue Fixierung Ihrer Prüfteile. Es ist möglich unsere Werkstoffe für optische Qualitätsüberprüfungen und für Messaufgaben zu verwenden. Unsere Komponenten sind für verschiedene Messmaschinen kompatibel.
Im Anlagenbau verwenden unsere Kunden METAPOR® innerhalb ihrer Prozessketten, um die Komponenten zuverlässig und mit einer hohen Wiederholgenauigkeit zu klemmen und zu transportieren.
Empfohlene METAPOR® Produkte zum Vakuumspannen
| Produkt | Anwendungsmerkmale | Dichte (g/cm3) | Biegefestigkeit (N/mm2) | Luftdurchsatz * |
|---|---|---|---|---|
| BF 100 AL | Flachspannen Sehr empfindliche Teile und dünne Folien Teilabdeckung der Aufspannfläche möglich | 1.8 | 52 | 1.4 |
| CE 100 WHITE | Flachspannen Hohe Oberflächenhärte Sehr empfindliche Teile und dünne Folien - Halbleiterindustrie Teilabdeckung der Aufspannfläche möglich | 1.7 | 28 | 1.4 |
| MC 100 AL | Flach- und Profilspannen Volle Abdeckung der Klemmfläche oft erforderlich Maximaler Luftstrom | 1.7 | 40 | 11.5 |
| MA 100 BLACK | Flach- und Profilspannen Teilabdeckung der Aufspannfläche möglich Komplett schwarzes poröses Material | 3.3 | 32 | 1.5 |
* Luftdurchsatz bei einem Druck von 1 bar / 10 mm METAPOR-Platte (Luftdurchsatz pro cm2 pro Minute in Litern)
